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?國(guó)儀電鏡助力!大連理工團(tuán)隊(duì)研發(fā)超靈敏、高穩(wěn)定應(yīng)變傳感器

更新時(shí)間:2025-06-06      點(diǎn)擊次數(shù):549

導(dǎo)電彈性體因其卓越的柔性和穩(wěn)定性,廣泛應(yīng)用于人機(jī)交互和健康監(jiān)測(cè)等領(lǐng)域。為了獲得良好的伸縮性和導(dǎo)電性,通常在柔性聚合物基體中摻雜導(dǎo)電填料(如碳材料、導(dǎo)電聚合物)。近年來,許多研究致力于提高應(yīng)變傳感器的靈敏度和測(cè)量范圍,并取得了顯著成果。然而,高速連續(xù)動(dòng)態(tài)應(yīng)變往往會(huì)引起噪聲干擾和基線漂移,從而影響傳感器的準(zhǔn)確性。目前,如何分析并解決基于彈性體的應(yīng)變傳感器的基線漂移仍然是一個(gè)重要的技術(shù)挑戰(zhàn)。

一方面,彈性體的固有粘彈性阻礙了拉伸后的快速應(yīng)力釋放,導(dǎo)致基線漂移增加。多相復(fù)合材料已被用于減少能量耗散并改善傳感器性能。研究表明,不同材料的協(xié)同作用可有效降低彈性體中的滯后現(xiàn)象,但完全消除仍然極具挑戰(zhàn)性。值得注意的是,即使是輕微的滯后應(yīng)力也可能引起顯著的信號(hào)漂移。此外,拉伸松弛的速度影響彈性體內(nèi)殘余應(yīng)力的分布,在高速應(yīng)變情況下,滯后效應(yīng)更加明顯。

另一方面,電極與彈性體之間的界面穩(wěn)定性也是影響基線漂移的關(guān)鍵因素。目前,大多數(shù)應(yīng)變傳感器使用金屬箔或?qū)щ娍椢镒鳛闇y(cè)試電極,并通過銀膠與傳感層形成界面連接。此外,在性能測(cè)試過程中,通常采用夾具固定電極區(qū)域,以保持穩(wěn)定性。然而,在實(shí)際應(yīng)用中,由于缺乏固定結(jié)構(gòu)和高穩(wěn)定性的導(dǎo)電粘合劑,傳感器表面的電極容易發(fā)生位移,導(dǎo)致界面破壞。這不僅會(huì)對(duì)電阻基線產(chǎn)生不可逆的影響,還可能引發(fā)顯著的噪聲干擾。研究表明,局部增加彈性體的模量可以降低電極的應(yīng)變敏感性,但由于缺乏錨定結(jié)構(gòu),難以保證直接附著在彈性體表面的電極的穩(wěn)定性。

針對(duì)上述問題,大連理工大學(xué)潘路軍教授團(tuán)隊(duì)借助國(guó)儀量子掃描電鏡進(jìn)行了深入研究,提出雙相導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)與穩(wěn)定電極界面的協(xié)同結(jié)構(gòu)來構(gòu)筑應(yīng)變傳感器。傳感器表面燒結(jié)而成的銀金屬島在傳感器釋放過程中主導(dǎo)電阻變化,從而降低接線漂移。經(jīng)模擬優(yōu)化后的榫卯互鎖結(jié)構(gòu)與PET剛性島協(xié)同增強(qiáng)了電極界面的穩(wěn)定性,進(jìn)一步降低基線飄移與傳感器噪聲。得益于協(xié)同結(jié)構(gòu)的優(yōu)化設(shè)計(jì),即使在連續(xù)高速(800 mm/min)大應(yīng)變下,拉伸釋放后的電阻值仍可無延遲地恢復(fù)99.999%。 此外,傳感器還具有極高靈敏度(GF=55442)、超低檢測(cè)限(<0.02%)、快速響應(yīng)/恢復(fù)(52/60 ms)及長(zhǎng)期穩(wěn)定性(>5000次循環(huán))。基于該傳感器的單通道手勢(shì)識(shí)別系統(tǒng)可達(dá)到98.2%的識(shí)別準(zhǔn)確率,展現(xiàn)出在智能交互、健康監(jiān)測(cè)等領(lǐng)域的應(yīng)用潛力。該研究以題為Synergistic Structural Construction of Strain Sensors with Low Baseline Drift and High Sensitivity for Continuous Dynamic Monitoring"的論文發(fā)表在《Nano Letters》上。

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基于導(dǎo)電彈性體應(yīng)變傳感器現(xiàn)存問題及

低漂移傳感器的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)


CNT-PDMS基應(yīng)變傳感器在拉伸過程中表現(xiàn)出顯著的電阻變化,因?qū)щ娋W(wǎng)絡(luò)被破壞而導(dǎo)致電阻升高(圖1a);在釋放階段,由于PDMS的粘彈性作用,CNT網(wǎng)絡(luò)恢復(fù)較慢,產(chǎn)生信號(hào)漂移。同時(shí),CNT-PDMS與電極間的弱界面易受損,進(jìn)一步引入基線噪聲并降低傳感器精度(圖1b)。為此,研究團(tuán)隊(duì)引入致密的Ag膜構(gòu)建雙相導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)(圖1c),在拉伸過程中Ag膜開裂成島,釋放后可重新連接。通過使用凹凸結(jié)構(gòu)電極(MTJ設(shè)計(jì))和在PDMS下方粘附PET層,增強(qiáng)了電極的穩(wěn)定性(圖1d)。Ag膜高導(dǎo)電性在釋放階段主導(dǎo)了電阻變化,顯著抑制了漂移(圖1e),而應(yīng)變不敏感的電極-彈性體界面則保證了信號(hào)輸出的準(zhǔn)確性。制備過程中,利用模板澆注法形成榫卯結(jié)構(gòu),電極置于中心,CNT-PDMS填充其中并熱固化,之后旋涂Ag納米顆粒油墨并低溫?zé)Y(jié),最后將PET層貼附于電極區(qū)域(圖1f)。

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圖1. 基于導(dǎo)電彈性體應(yīng)變傳感器現(xiàn)存問題及低漂移傳感器的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。














雙相分級(jí)網(wǎng)絡(luò)和電極區(qū)域的優(yōu)化設(shè)計(jì)


研究團(tuán)隊(duì)通過引入MTJ&PET結(jié)構(gòu),有效降低了電極偏移帶來的噪聲,實(shí)現(xiàn)了更穩(wěn)定的界面接觸(圖2a)。對(duì)比測(cè)試表明,采用傳統(tǒng)銀膠電極的傳感器在1 s內(nèi)電阻變化為0.174,而MTJ&PET結(jié)構(gòu)傳感器僅為0.006,界面穩(wěn)定性顯著提高(圖2b)。在動(dòng)態(tài)拉伸過程中,銀膠界面易破裂,產(chǎn)生嚴(yán)重噪聲(圖2c),而MTJ&PET界面即使在80%應(yīng)變下也保持穩(wěn)定。進(jìn)一步通過動(dòng)態(tài)應(yīng)變測(cè)試評(píng)估了不同結(jié)構(gòu)對(duì)基線漂移(PBD)的影響(圖2d-e)。結(jié)果顯示,Ag/CNT-PDMS雙相分層網(wǎng)絡(luò)可顯著降低PBD,其中Ag/CNT-PDMS20表現(xiàn)最佳,平均PBD僅為1.91×10?2%,遠(yuǎn)低于單一CNT-PDMS結(jié)構(gòu)。Ag島的二維/三維形貌變化影響了電阻響應(yīng)與漂移行為(圖2f),粗糙表面形成的3D Ag島有助于降低基線漂移。通過有限元分析優(yōu)化了MTJ&PET的尺寸參數(shù)(圖2g-h),最終確定最佳設(shè)計(jì)為L(zhǎng)1=0.7 cm、L2=1 cm、L3=0.4 cm。實(shí)驗(yàn)進(jìn)一步驗(yàn)證,優(yōu)化結(jié)構(gòu)下電極界面應(yīng)變僅為0.42%,有效提升了應(yīng)變環(huán)境下的信號(hào)穩(wěn)定性(圖2i-j)。整體結(jié)果表明,MTJ&PET結(jié)合Ag/CNT-PDMS雙相網(wǎng)絡(luò)的設(shè)計(jì),大幅提升了柔性傳感器在大應(yīng)變條件下的穩(wěn)定性和可靠性。

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圖2. 雙相分級(jí)網(wǎng)絡(luò)和電極區(qū)域的優(yōu)化設(shè)計(jì)。


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燒結(jié)后的金屬銀納米顆粒的SEM圖像。

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高速連續(xù)動(dòng)態(tài)應(yīng)變下的基線漂移特性


為了驗(yàn)證優(yōu)化的電極區(qū)域穩(wěn)定性,研究團(tuán)隊(duì)制造了四種不同電極結(jié)構(gòu)的應(yīng)變傳感器,并進(jìn)行了連續(xù)拉伸和釋放測(cè)試(圖3a)。結(jié)果表明,W/O PET&MTJ 和 W MTJ 電極區(qū)域在80%和60%應(yīng)變下出現(xiàn)明顯變形,與仿真預(yù)測(cè)一致(圖3b)。缺乏PET支撐的W MTJ傳感器在60%應(yīng)變時(shí)發(fā)生斷裂,而W PET和W PET&MTJ結(jié)構(gòu)則在80%應(yīng)變下保持完整,說明PET有效提升了局部彈性模量。在基線漂移測(cè)試中,W PET&MTJ傳感器表現(xiàn)出最小的漂移(圖3c),其釋放后阻值變化僅為0.072(圖3d),且在1.25秒內(nèi)快速恢復(fù),恢復(fù)率高達(dá)99.999%。進(jìn)一步在不同拉伸速度(50–800 mm/min)下的測(cè)試中,傳感器依然保持了極低的基線漂移(圖3e–g)。得益于Ag islands的補(bǔ)償作用,傳感器能夠準(zhǔn)確監(jiān)測(cè)快速大幅度動(dòng)態(tài)應(yīng)變變化(圖3h,i)。

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圖3. 高速連續(xù)動(dòng)態(tài)應(yīng)變下的基線漂移特性測(cè)試。














低漂移應(yīng)變傳感器的感應(yīng)機(jī)制和基本性能


受雙相導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)的影響,研究團(tuán)隊(duì)開發(fā)的應(yīng)變傳感器在拉伸過程中經(jīng)歷了三個(gè)階段的電阻變化(圖4a)。初期,連續(xù)的Ag薄膜主導(dǎo)導(dǎo)電,隨后Ag島與CNT-PDMS20并聯(lián),最終隨著拉伸加劇,CNT-PDMS20成為電阻主導(dǎo)。傳感器在0–5%、5–12%和12–80%應(yīng)變區(qū)間的靈敏度(GF)分別達(dá)到7200、55442和10986,滿足大多數(shù)應(yīng)用需求(圖4b)。不同批次制備的傳感器在各階段均展現(xiàn)出良好的靈敏度一致性,且在靜態(tài)測(cè)試中呈現(xiàn)優(yōu)異的線性歐姆特性(圖S28)。即使在0.02%的微小應(yīng)變下,傳感器也能保持高信噪比和穩(wěn)定響應(yīng)(圖4c)。快速拉伸測(cè)試顯示其響應(yīng)和恢復(fù)時(shí)間僅為52 ms和60 ms,支持實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)(圖4d)。在不同拉伸速度下(20%應(yīng)變),傳感器保持穩(wěn)定的電阻響應(yīng)(圖4e),并在5000次循環(huán)測(cè)試中僅出現(xiàn)1.17%的微小偏移,顯示出優(yōu)異的耐久性(圖4f,g)。與已有PDMS基應(yīng)變傳感器相比,該傳感器在靈敏度和感應(yīng)范圍方面展現(xiàn)出顯著優(yōu)勢(shì)(圖4h),展現(xiàn)了其在動(dòng)態(tài)應(yīng)變應(yīng)用中的巨大潛力。

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圖4. 低漂移應(yīng)變傳感器的感應(yīng)機(jī)制和基本性能。














基于單通道低漂移傳感器的手勢(shì)識(shí)別應(yīng)用


為了實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的人機(jī)交互,研究團(tuán)隊(duì)基于提出的高靈敏度、低基線漂移應(yīng)變傳感器開發(fā)了單通道手勢(shì)識(shí)別系統(tǒng)(圖5a)。傳感器固定在手背,通過監(jiān)測(cè)肌腱變化捕捉手勢(shì)動(dòng)作。手勢(shì)識(shí)別系統(tǒng)包括運(yùn)動(dòng)提取、信號(hào)轉(zhuǎn)換與卷積神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)(CNN)預(yù)測(cè)。不同手勢(shì)過程中,阻值時(shí)間序列信號(hào)表現(xiàn)出顯著差異(圖5b),并通過連續(xù)小波變換進(jìn)一步增強(qiáng)(圖5d)。經(jīng)60個(gè)訓(xùn)練epoch后,CNN訓(xùn)練精度達(dá)到峰值,主成分分析(PCA)結(jié)果表明手勢(shì)特征具有清晰分布(圖5e, f),最終五類手勢(shì)的識(shí)別準(zhǔn)確率達(dá)到98.2%(圖5g)。對(duì)比實(shí)驗(yàn)中,缺乏結(jié)構(gòu)優(yōu)化的傳感器信號(hào)噪聲較大,經(jīng)移動(dòng)平均濾波后準(zhǔn)確率仍僅為51.3%,PCA顯示特征重疊明顯,CNN分類失敗(圖5h–5j)。相比之下,本研究提出的低漂移傳感器結(jié)合手勢(shì)識(shí)別算法,在動(dòng)作意圖識(shí)別中展現(xiàn)出優(yōu)異性能,為人機(jī)交互應(yīng)用提供了可靠支持。

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圖5. 基于單通道低漂移傳感器的手勢(shì)識(shí)別應(yīng)用。














總結(jié)


這項(xiàng)工作提出了一種具有雙相分層網(wǎng)絡(luò)和穩(wěn)定電極界面的協(xié)同結(jié)構(gòu),以解決連續(xù)動(dòng)態(tài)應(yīng)變下基于導(dǎo)電彈性體基應(yīng)變傳感器的基線漂移和噪聲干擾問題。該傳感器具有高 GF(高達(dá) 55442)、低檢出限 (<0.02%)、出色的穩(wěn)定性(>5000 次循環(huán))和快速響應(yīng)/恢復(fù)時(shí)間 (52/60 ms)。通過機(jī)器學(xué)習(xí),它可以實(shí)現(xiàn) 98.2% 的手勢(shì)識(shí)別準(zhǔn)確率。這種高靈敏度、低漂移的應(yīng)變傳感器在各種應(yīng)用中具有巨大的潛力。



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