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探索微觀世界的“慧眼”:超高分辨場發射掃描電子顯微鏡

更新時間:2024-07-11      點擊次數:861
  SEM5000X是一款超高分辨場發射掃描電子顯微鏡,其分辨率達到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物鏡設計、高壓隧道技術(SuperTunnel)以及鏡筒工藝升級,實現了低電壓分辨率的進一步提升。全新設計的樣品倉,擴展接口增加至16個,快速換樣倉最大支持8寸晶圓(最大直徑208 mm),極大擴展應用范圍。高級掃描模式和自動功能增強,帶來了更強的性能和更好的體驗。
 

超高分辨場發射掃描電子顯微鏡

超高分辨場發射掃描電子顯微鏡

 


 
  在現代科學研究的前沿,一種被譽為“微觀世界慧眼”的儀器——超高分辨場發射掃描電子顯微鏡,正以其性能和廣泛的應用,領著我們對微觀世界的深入探索。
 
  超高分辨場發射掃描電子顯微鏡(FE-SEM)是現代材料科學研究的重要工具,它結合了場發射電子源和掃描電子顯微鏡技術,能夠在納米甚至亞納米尺度上觀察和分析材料的表面形貌、化學成分和晶體結構。這種顯微鏡的du特之處在于其超高的分辨率和靈敏度,使得科學家們能夠以精度洞察材料的微觀世界。
 
  FE-SEM的工作原理是通過場發射電子源產生一束極細、能量可調的電子束,然后利用電磁透鏡將電子束聚焦并掃描到樣品表面。在掃描過程中,電子與樣品表面發生相互作用,激發出二次電子、背散射電子等信號。這些信號被探測器接收并轉換成電信號,經過放大和處理后,最終在顯示器上呈現出樣品的表面形貌圖像。
 
  FE-SEM的超高分辨率主要得益于其場發射電子源。這種電子源能夠產生極細、能量集中的電子束,使得電子束在樣品表面的掃描范圍更加精確,從而大大提高了圖像的分辨率。此外,FE-SEM還配備了多種探測器和分析系統,能夠同時獲取樣品的化學成分、晶體結構等信息,為科學研究提供了更加全面、準確的數據支持。
 
  在材料科學、生物醫學、納米技術等領域,FE-SEM發揮著舉足輕重的作用。它不僅能夠揭示材料的微觀結構和性能之間的關系,還能夠為新型材料的研發和優化提供有力支持。例如,在納米材料研究中,FE-SEM能夠清晰地觀察到納米顆粒的形貌、尺寸和分布,為納米材料的制備和應用提供了重要指導。
 
  總之超高分辨場發射掃描電子顯微鏡以其性能和廣泛的應用前景,成為現代科學研究的重要工具。
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